주식회사 이솔

당사는 국내 유일의 EUV (Extreme Ultra Violet) 장비 제작 기술을 보유한 업체로서 EUV 마스크 결함 검사 및 EUV 레지스트 간섭 패터닝 설비 등을 개발하여 제작, 판매하는 회사입니다. 자체 개발한 EUV Laser와 반사계 Mirror를 최소화한 광학 설계기술을 바탕으로 기존의 장비 대비 혁신적인 기술을 이용하여 보다 경제적인 EUV 관련 장비 제작이 가능합니다. EUV 마스크 결함 리뷰설비,EUV phase 측정장비, EUV Pellicle 투과율 측정장비 등 EUV 관련 계측 장비를 시작으로 향 후 검사설비에 이르기까지 개발을 할 기술과 역량을 보유하고 있습니다.